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详细说明

三氯氫硅SiHCl3

產品名稱:
三氯氫硅|SiHCl3
其他名稱:
硅氯仿、硅仿、三氯硅烷
分子式:
SiHCl3
UN No.
UN 1818
CAS No.
10025-78-2
產品純度:
99.999%
包裝說明:
43L或47L專用鋼瓶包裝,45kg/瓶
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  • 商品說明
  • 商品參數

產品名稱:三氯氫硅|SiHCl3
其他名稱:硅氯仿、硅仿、三氯硅烷;Trichlorosilane、Silicochloroform
分子式:SiHCl3
CAS No.10025-78-2
UN No. UN 1818
理化性質:
分子量: 135.43
熔點(101.325kPa):-134℃;沸點(101.325kPa):31.8℃;液體密度(0℃):1350kg/m3;相對密度(氣體,空氣=1): 4.7;蒸氣壓(-16.4℃):13.3kPa;(14.5℃):53.3kPa;燃點:-27.8℃;自燃點:104.4℃;閃點:-14℃;爆炸下限:9.8%;毒性級別:3;易燃性級別:4;易爆性級別:2
產品純度:99.999%
包裝說明:43L或47L專用鋼瓶包裝,45kg/瓶


又稱硅氯仿,TCS。甲硅烷的三氯代物。為一種易流動的無色液體,密度1.34克/厘米3 ;能溶于苯、氯仿和二硫化碳。

三氯硅烷在常溫常壓下為具有刺激性氯化氫氣味易流動易揮發的無色透明液體。在空氣中極易燃燒,在-18℃以下也有著火的危險,遇明火則強烈燃燒,燃燒時發出紅色火焰和白色煙,生成SiO2.HCl和Cl2。



產品說明:三氯氫硅在常溫常壓下為具有刺激性惡臭易流動易揮發的無色透明液體。在空氣中極易燃燒,在-18℃以下也有著火的危險,遇明火則強烈燃燒,燃燒時發出紅色火焰和白色煙;三氯氫硅的蒸氣能與空氣形成濃度范圍很寬的爆炸性混合氣,受熱時引起猛烈的爆炸。它的熱穩定性比二氯硅烷好,在900℃時分解產生氯化物有毒煙霧;遇潮氣時發煙,與水激烈反應;在堿液中分解放出氫氣;與氧化性物質接觸時產生爆炸性反應。與乙炔、烴等碳氫化合物反應產生有機氯硅烷;在氫化鋁鋰、氫化硼鋰存在條件下,SiHCl3可被還原為硅烷。容器中的液態SiHCl3當容器受到強烈撞擊時會著火。可溶解于苯、醚等。無水狀態下三氯硅烷對鐵和不銹鋼不腐蝕,但是在有水分存在時腐蝕大部分金屬。


三氯氫硅用于有機硅烷和烷基、芳基以及有機官能團氯硅烷的合成,是有機硅烷偶聯劑中最基本的單體,也是生產半導體硅、單晶硅的原料。尤其是精細化工、有機硅產業、電子產品、光纖通訊等行業大量使用。

應用于:多晶硅、單晶硅原料、外延成長、硅液、硅油、化學氣相淀積、硅酮化合物制造、電子氣。

注意事項:三氯氫硅的蒸氣和液體都能對眼睛和皮膚引起灼傷,吸入后刺激呼吸道粘膜引起各種癥狀。瓶裝氣體產品為高壓充裝氣體,使用時應經減壓降壓后方可使用。包裝的氣瓶上均有使用的年限,凡到期的氣瓶必須送往有部門進行安全檢驗,方能繼續使用。每瓶氣體在使用到尾氣時,應保留瓶內余壓在0.5MPa,最小不得低于0.25MPa余壓,應將瓶閥關閉,以保證氣體質量和使用安全。瓶裝氣體產品在運輸儲存、使用時都應分類堆放,嚴禁可燃氣體與助燃氣體堆放在一起,不準靠近明火和熱源,應做到勿近火、勿沾油臘、勿爆曬、勿重拋、勿撞擊,嚴禁在氣瓶身上進行引弧或電弧,嚴禁野蠻裝卸。


  • 三氯氫硅 SiHCl3

  • 1、三氯氫硅又稱三氯硅烷、硅氯仿

  • 2、分子式為SiHCl3

  • 用于有機硅烷和烷基、芳基以及有機官能團氯硅烷的合成,是有機硅烷偶聯劑中最基本的單體,也是生產半導體硅、單晶硅的原料,隨著有機硅烷偶聯劑工業的發展而出現供不應求,生產量越來越大。

  • 3、三氯氫硅的理化特性及生產原理

  • 三氯氫硅是采用硅粉與氯化氫氣體在流化床反應器中生成。它是無色液體,易揮發,易潮解,在空氣中發生反應產生白煙,遇水分解,溶于苯、醚等有機溶劑。屬一級遇濕易燃物品,易燃易爆,遇水反應產生氯化氫氣體;它與氧化劑發生強烈反應,遇明火、高熱時發生燃燒或爆炸。

  • 4、其物理特性如下:

  • 比重:1.35;

  • 相對氣體密度:4.7;

  • 沸點:31.8℃;

  • 飽和蒸氣壓(14.5℃)53.33Kpa;

  • 閃點:-13.9℃(開杯);

  • 自燃溫度:175℃;

  • 爆炸下限:6.9%;

  • 爆炸上限:70%;

  • 溶解性:溶于苯、醚等有機溶劑;

  • 具有急性毒性。

  • 5、三氯氫硅生產的火災危險性分析

  • 三氯氫硅生產的原料都是不燃物質,但是其生產過程中的產物大都是易燃易爆物質,如氫氣、三氯氫硅、氯氣等。

  • 1、電解食鹽水的火災危險性

  • (1)電解時有強大的電流通過,如果電氣的絕緣不良極易產生電火花,電解車間經常有氫氣泄漏,遇到電火花或其它明火會發生燃燒或爆炸。

  • (2)如氫氣與氯氣相混,達到爆炸極限范圍,遇光也會發生爆炸。

  • 2、三氯氫硅合成的火災危險性 
    SiHCl3的合成是在280℃~300℃的溫度下進行的,已經超過了SiHCl3的自燃溫度175℃,在合成過程中如果SiHCl3發生泄漏,或者空氣進入反應器,極易引起燃燒、爆炸或中毒事故。并且SiHCl3有毒、遇水燃燒,給火災撲救帶來一定的困難。

  • 3、三氯氫硅貯罐的火災危險性 
    SiHCl3的貯罐如果發生泄漏,其危險性遠遠大于工藝管道泄漏的危險性,因為其貯量大,一旦發生泄漏,如果不及時堵漏,影響會不斷擴大。貯罐區因為冷卻用水的需要,經常有水存在,泄漏的SiHCl3遇水發生反應,產生有毒的HCl,向四周擴散,給搶險救援工作帶來困難。

  • 6、防火防爆對策 
    在三氯氫硅生產的各個工序中,為防止火災、中毒,要嚴格執行各項消防安全制度,嚴格控制工藝指標,嚴格操作規程。加強對設備管道的維護保養,嚴防跑、冒、滴、漏。具體預防措施如下:

  • 1、火源管理。在生產中進行檢修時使用的工具應該是不產生火花的工具,嚴禁用鐵器敲打設備或管道,工作人員應穿棉制品工作服。生產和貯罐區禁止明火,生產中動火要嚴格執行有關安全管理制度。

  • 2、防止跑、冒、滴、漏。生產過程中產生的大都是易燃易爆有毒物質,生產設備、工藝管道和貯罐如果發生泄漏極易釀成火災、爆炸和中毒事故。因此,日常工作中要做好安全檢查,不留死角,設備要定期檢修,發現問題及時采取補救措施,修復存在跑、冒、滴、漏的部位。

  • 3、配置應急工具和消防設施。應該配備一定數量的防毒面具、自給式空氣呼吸器、手套、堵漏工具。應急隊的人員要經常進行演練,熟練掌握各種情況下的堵漏方法和處置措施。貯罐區常備干砂的量最好不少于一個貯罐的容積,廠內倉庫存放一定的水泥作應急之用。配備一定數量的手提式二氧化碳和干粉滅火器。

  • 4、生產工藝中的防火防泄漏措施。 
    (1)三氯氫硅的合成、除塵和精餾工段。HCl氣體緩沖罐與合成爐之間應設止回閥,防止合成爐的SiHCl3回到緩沖罐。應控制HCl氣體的流量,控制合成爐內的溫度。對設備管道要經常進行維護保養,防止三氯氫硅泄漏。在生產中要保持整個系統的密閉,用99.99%的氮氣進行保護。

  • (2)三氯氫硅的儲存。三氯氫硅的沸點較低,需在低溫下儲存,三氯氫硅的貯罐設置低溫保護裝置和降溫措施。由于三氯氫硅有潛在的燃燒爆炸危險,所以它的貯罐應與生產裝置要有一定的防火間距,并且要設防火堤,降溫水的排放管道經過防火堤處要設閘閥。貯罐應設靜電接地裝置和避雷裝置。貯罐內的氣相要與氮氣系統相連進行保護,貯罐的氣相與外部連通的平衡管(放空管)應與尾氣回收系統相連,不能直接排空,并應設止回閥和阻火器。貯罐區應設一個備用罐,緊急情況下應將泄漏的貯罐內的物料轉移至備用罐,防止大量泄漏。

  • 7、泄漏處理和火災撲救 
    生產和儲存中如果發生三氯氫硅泄漏,應根據泄漏量的大小劃出一定的警戒范圍,禁止無關人員和車輛進入警戒區,切斷警戒區內的所有火源,迅速撤離泄漏污染區內的人員至安全地帶。如果是貯罐發生泄漏,又不能及時排除泄漏,就應該將發生泄漏的貯罐內的三氯氫硅用氮氣壓入備用罐內。如果是生產中的設備和管道發生泄漏,應立即停止生產,并迅速關閉有關閥門切斷物料輸送。泄漏地帶有水源時,應用干砂土圍成隔離帶,將泄漏的三氯氫硅與水隔離開來。搶險人員進入危險區域時應佩戴自給式呼吸器或防毒面具。應先查明泄漏部位的泄漏狀況。由于貯存三氯氫硅的容器為常壓容器,應針對不同的泄漏部位采取不同的堵漏措施,切斷泄漏源,用砂土、水泥吸收殘留液。

  • 三氯氫硅泄漏后發生燃燒時,應采用干砂、二氧化碳、干粉、水泥滅火,禁止直接用水和泡沫撲救。


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