特種氣體系統(tǒng)工程在使用、設(shè)計(jì)和施工中的常用規(guī)范術(shù)語(yǔ)，大家可以了解一下。

　　1 特種氣體 specialily gas

　　用于各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)的薄膜氣體、摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、刻蝕氣體及工藝設(shè)備所使用的氣體。通常包括可燃性氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體、惰性氣體等。

　　2 特種氣體系統(tǒng) speciality gas system

　　特種氣體系統(tǒng)是指在用戶現(xiàn)場(chǎng)的特種氣體的儲(chǔ)存、輸送與分配全過(guò)程的設(shè)備、管道和部件的總稱。

　　3 特種氣體間 speciality gas room

　　是指在電子生產(chǎn)廠房放置特種氣瓶柜、氣瓶架、尾氣處理裝置、氣瓶集裝格等氣體設(shè)備，并通過(guò)管道向用氣設(shè)備輸送特種氣體的房間。

　　4 硅烷站 silane station

　　是指放置硅烷儲(chǔ)存設(shè)備(氣瓶、氣瓶集裝格、Y鋼瓶、長(zhǎng)管拖車或ISO標(biāo)準(zhǔn)儲(chǔ)罐)、硅烷氣化裝置及尾氣處理裝置、電氣裝置等，并通過(guò)管道向用氣生產(chǎn)廠房供應(yīng)硅烷氣體的獨(dú)立建構(gòu)筑物或區(qū)域。

　　5 明火地點(diǎn) open flame site

　　室內(nèi)外有外露的火焰或赤熱表面的固定地點(diǎn)。

　　6 散發(fā)火花地點(diǎn) sparking site

　　散發(fā)火花的煙囪或室外電焊、砂輪、氣焊等固定地點(diǎn)。

　　7 空瓶 empty cylinder

　　留有殘余壓力的氣體鋼瓶。

　　8 實(shí)瓶 full cylinder

　　存有氣體的氣瓶中保存有氣體壓力的氣瓶，特種氣體氣瓶一般水容積為40L、47、48L等各種容積。

　　9 氣瓶集裝格 the bundle of gas cylinders

　　用專用金屬框架固定，采用集氣管將多只氣體鋼瓶接口并聯(lián)組合的氣體鋼瓶組單元。氣瓶的個(gè)數(shù)分別為9個(gè)、12個(gè)、16個(gè)不等，單個(gè)氣瓶的水容積通常為40~50L。

　　10 氣瓶柜 gas cabinet (GC)

　　特種氣體使用的封閉式氣瓶放置與管理設(shè)備，一般應(yīng)配置減壓裝置、真空發(fā)生器、、緊急切斷閥、過(guò)流開關(guān)、風(fēng)壓事故報(bào)警、、壓力監(jiān)測(cè)及報(bào)警等安全使用所必須的設(shè)施。排風(fēng)管配置泄漏探頭。氣瓶柜有手動(dòng)、半自動(dòng)、全自動(dòng)三類。

　　11 氣瓶架 gas rack (GR)

　　特種氣體使用的開放式氣瓶放置與管理設(shè)備，一般應(yīng)配置減壓裝置、吹掃裝置、氣體終端過(guò)濾器、緊急切斷閥、壓力監(jiān)測(cè)及報(bào)警等安全設(shè)施。氣瓶架有手動(dòng)、半自動(dòng)、全自動(dòng)三類。

　　12 閥門箱 valve manifold box (VMB)

　　特種氣體在輸送過(guò)程中使用的封閉式管道分配部件，VMB在氣體入口配置氣動(dòng)閥、手動(dòng)閥，各支管可配置手動(dòng)閥、壓力表、過(guò)濾器等組件，除SiH2Cl2、WF6等低蒸汽壓力氣體外，VMB各支管可根據(jù)需要設(shè)置調(diào)壓閥。VMB需設(shè)置泄漏氣體排氣管接口和風(fēng)壓事故報(bào)警。

　　13 閥門盤 valve manifold panel (VMP)

　　特種氣體在輸送過(guò)程中使用的開放式管道分配部件，VMP在氣體入口配置氣動(dòng)閥、手動(dòng)閥，各支管應(yīng)配置手動(dòng)閥、壓力表、過(guò)濾器等組件，VMP各支管可根據(jù)需要設(shè)置調(diào)壓閥。

　　14 低蒸汽壓力氣體 low vapor pressure gas

　　在室溫下的飽和蒸氣壓小于0.2MPa的氣體。

　　15 尾氣處理裝置 local scrubber

　　用于處理易燃、易爆、有毒、有腐蝕性等氣體的排氣與吹掃氣體的裝置，處理后的尾氣達(dá)到規(guī)定排放濃度，并排入用氣車間的排氣管道。

　　16 氣體探測(cè)系統(tǒng) gas detector system(GDS)

　　設(shè)置在特種氣瓶柜、氣瓶架、閥門箱、閥門盤、及其它特種氣體輸送設(shè)備與管道所覆蓋區(qū)域，通過(guò)檢測(cè)本質(zhì)氣體或關(guān)聯(lián)氣體在空氣中的含量來(lái)判斷本質(zhì)氣體的泄漏，從而發(fā)出聲光報(bào)警信號(hào)、提供應(yīng)急處理數(shù)據(jù)的系統(tǒng)。

　　17 氣體管理系統(tǒng) gas management system(GMS)

　　包含特種氣體探測(cè)系統(tǒng)、應(yīng)急處理系統(tǒng)、工作管理系統(tǒng)、監(jiān)視系統(tǒng)、數(shù)據(jù)輸送與處理系統(tǒng)的氣體管理與控制系統(tǒng)的統(tǒng)稱。

　　18 最高允許濃度值 threshold limit value(TLV)

　　工作環(huán)境空氣中有害物質(zhì)的最高允許濃度值。

　　19 爆炸濃度下限值 low explosion limit(LEL)

　　可燃?xì)怏w在空氣或氧化氣體中發(fā)生爆炸的濃度下限值。

　　20 臥式氣瓶 y-cylinder/t-cylinder

　　用于儲(chǔ)存較多特種氣體的氣瓶。一般水容積為500L，1000L。

　　21 自燃?xì)怏w pyrophoric gas

　　在空氣中會(huì)發(fā)生自動(dòng)燃燒的氣體。

　　22 可燃?xì)怏w flammable gas

　　指與空氣(或氧氣)能夠形成一定濃度的混合氣態(tài)，并遇到火源會(huì)發(fā)生燃燒或爆炸的氣體。

　　23 毒性氣體 toxic gas

　　LC50超過(guò)200ppm但不超過(guò)2000ppm的氣體。

　　24 腐蝕性氣體 corrosive gas

　　是指在一定條件下，對(duì)材料或人體組織接觸產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)引起可見破壞或不可逆反應(yīng)的氣體。

　　25 氧化性氣體 oxygenize gas

　　是指在一定條件下，與材料接觸會(huì)產(chǎn)生較為劇烈的失去電子的化學(xué)反應(yīng)的氣體。

　　26 惰性氣體 inert gas

　　在一般情況下與其它物質(zhì)不會(huì)產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)的氣體。

　　27 限流孔板 restrict flow orifice(RFO)

　　限定系統(tǒng)最大流量的一種裝置。

　　28 過(guò)流開關(guān) excess flow switch(EFS)

　　流量超出設(shè)定值時(shí)，給出開關(guān)信號(hào)。

　　29 AP管 annealed and pickled pipe

　　經(jīng)過(guò)酸洗或鈍化、去除表面殘存顆粒的鈍化無(wú)縫不銹鋼管。

　　30 BA管 bright annealing pipe

　　經(jīng)加氫或真空狀態(tài)高溫?zé)崽幚恚�消除�?nèi)部應(yīng)力并在管道表面形成一層鈍化膜的光亮無(wú)縫不銹鋼管。

　　31 EP管 electro-polished pipe

　　經(jīng)電化學(xué)拋光，使表層實(shí)際面積得到最大程度的減少,表面產(chǎn)生一層較厚的封閉的氧化鉻膜的電化學(xué)拋光無(wú)縫不銹鋼管。

　　32 吹掃 purge

　　用氮?dú)夂蜌鍤鈱?duì)特種氣體系統(tǒng)內(nèi)的其它氣體進(jìn)行置換的過(guò)程。

　　33 排氣 vent

　　特種氣體設(shè)備與系統(tǒng)中排出的本質(zhì)氣體。

　　34 數(shù)據(jù)采集與監(jiān)視控制系統(tǒng) supervisory control and data acquisition(SCADA)

　　是以計(jì)算機(jī)為基礎(chǔ)的生產(chǎn)過(guò)程控制與調(diào)度自動(dòng)化系統(tǒng)。它可以對(duì)現(xiàn)場(chǎng)的運(yùn)行設(shè)備進(jìn)行監(jiān)視和控制，以實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)采集、設(shè)備控制、測(cè)量、參數(shù)調(diào)節(jié)以及各類信號(hào)報(bào)警等各項(xiàng)功能。

　　35 工廠設(shè)備管理控制系統(tǒng) facility management control system(FMCS)

　　用于管理工廠動(dòng)力設(shè)備的管理控制系統(tǒng)，一般只具有監(jiān)視功能，不具有控制功能。

　　36 大宗硅烷系統(tǒng) bulk silane system

　　是指容器水容積超過(guò)250L的硅烷系統(tǒng)，包括鋼瓶集裝格、Y鋼瓶、長(zhǎng)管拖車(T/T)、ISO標(biāo)準(zhǔn)儲(chǔ)罐，以及數(shù)量超過(guò)7個(gè)的獨(dú)立小鋼瓶系統(tǒng)。

　　37 氣體面板 gas panel

　　集成切斷閥門、調(diào)壓閥、過(guò)濾器、壓力計(jì)等零部件并安裝在氣瓶柜內(nèi)的專用設(shè)施。

　　38 開敞式建筑 open area

　　立柱和墻面遮擋部分小于周長(zhǎng)的25%的建筑。

　　39 內(nèi)向檢漏 inboard he leak test

　　又稱噴氦法測(cè)試. 采用內(nèi)部抽真空，外部噴氦氣的方法，測(cè)試管路系統(tǒng)的泄漏率。

　　40 閥座檢漏 cross seat he leak test

　　采用閥門上游充氦氣，下游抽真空，檢測(cè)泄漏率的方法。

　　41 外向檢漏 outboard he leak test

　　又稱吸槍法測(cè)試，采用管路內(nèi)部充氦氣或氦氮混合氣，外部用吸槍檢查漏點(diǎn)泄漏率的方法。

　　42 不相容性 incompatible

　　不同氣體混合后即發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，釋放出能量并對(duì)環(huán)境產(chǎn)生危害作用的特性。

　　43 ISO標(biāo)準(zhǔn)儲(chǔ)罐 ISO module

　　按國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)組織(ISO)要求，允許安裝在架子上的多個(gè)水容積不超過(guò)1218L的儲(chǔ)罐或長(zhǎng)管氣瓶的總稱。

　　44 大宗特氣輸送系統(tǒng)

　　應(yīng)用在1)集束鋼瓶(容積小于50L鋼瓶數(shù)量超過(guò)12個(gè)以上);2)Y型鋼瓶;3)T型鋼瓶;4)長(zhǎng)管拖車;5)ISO槽罐等進(jìn)行特種氣體儲(chǔ)存和送氣作業(yè)的系統(tǒng)。